凈化空調機組一般可分為集中式和分散式兩種類型。  集中式凈化空調系統(tǒng)是凈化空調設備（如加熱器、冷卻器、加濕器、租中效過濾器、風機等）集中設置在空調機房內，用風管將潔凈空氣送給各個潔凈室。  分散式凈化空調系統(tǒng)是在－般的空調環(huán)境或低級別凈化環(huán)境 中，設置凈化設備或凈化空調設備，如凈化單元、空氣自凈器、層流罩、潔凈工作臺等。隨 著科學技術的發(fā)展，尤其是半導體集成電路制造技術的迅猛發(fā)展，對生產(chǎn)環(huán)域的空氣潔凈度 要求越來越高．現(xiàn)今的超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)要求控制空氣中的 0.051.tm的微植濃度和分子 級污染物，因此潔凈軍的送風方式發(fā)生了很大變化，在半導體芯片工廠或類似生產(chǎn)過程要求 高潔凈度的潔凈廠房中，其凈化空調系統(tǒng)采用循環(huán)空氣方式，其循環(huán)方式主要有集中方式、 隧道方式、風機過濾單元（ FFU）方式和微環(huán)境＋開放式措凈室方式等。這些送風方式既可 滿足高清凈度要求，還可以不同程度地降低能量消艷。