等離子-QT-80-PSP

一 概述

等離子體是正離子和電子的密度大致相等的電離氣體。由離子、電子、自由激進分子、光子以及中性粒子組成。是物質(zhì)的第四態(tài)。

由于等離子體是具有比氣體更高的能量組合體，處于等離子體環(huán)境中的物質(zhì)可以獲得更多的物理化學等反應特性。

等離子清洗的機理是依靠處于“等離子態(tài)”的物質(zhì)的“活化作用”達到去除物體表面污漬的目的。從目前各類清洗方法來看，等離子體清洗也是所有清洗方法中較為徹底的剝離式的清洗。可以應用于半導體、微電子、COG前、LED制程、器件封裝前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學實驗等。

該設備等離子體頻率13.56MHz；射頻電源功率0～600W可調(diào)。產(chǎn)品使用環(huán)境條件為潔凈廠房和要求干燥的地方，產(chǎn)品工作條件為工頻制電源，并有氣源。本產(chǎn)品對環(huán)境無污染。

二主要性能指標

主要技術參數(shù)：

1) 整機外形尺寸（約）: 900W×1700H×1000D（mm） 外觀噴塑處理；
2) 反應倉尺寸： W450mm×H400mm×D450mm；
3) 電源：主系統(tǒng)電源: 380×(1±10%)V(AC)  50Hz～60