PRB系列白光干涉三維形貌儀是采用國外進(jìn)的白光干涉掃描技術(shù)研制的納米量級形貌測量儀器，透過精密的掃描系統(tǒng)和自主專利的解析算法，進(jìn)行樣品表面微細(xì)形貌的量測與分析。表面顯微成像能力與高精度測量的完美結(jié)合，只需數(shù)秒鐘，就能觀測到表面的三維輪廓、臺階高度、表面紋理、微觀尺寸以及包含各類參數(shù)的測量結(jié)果。
系統(tǒng)采用氣浮式隔振模塊、堅固的花崗巖和鋼結(jié)構(gòu)支撐，具有出色的穩(wěn)定性。測量過程簡便而快速，只需把被測物體放置到載物臺，聚焦出干涉條紋，按下測量按鈕即可開始整個測量過程。
標(biāo)準(zhǔn)配置采用五軸手動調(diào)整載物平臺，可依據(jù)不同測試要求做彈性調(diào)整，并可選配電動載物平臺，以實現(xiàn)自動定位、自動聚焦、自動縫合之大面積高精度的量測要求，樣品均不需前處理即可進(jìn)行非破壞、高精度、快速的表面形貌測量和分析。