LPE液相外延爐采用進(jìn)口穩(wěn)定可靠的智能儀表，能夠?qū)崿F(xiàn)整個(gè)工藝過程的自動(dòng)控溫。以進(jìn)口直線電機(jī)為主體，系統(tǒng)定位且無抖動(dòng)，加速度大能快速啟動(dòng)，可快速精準(zhǔn)的將生長材料移動(dòng)至下一個(gè)生長點(diǎn)。

    本設(shè)備采用“黃金”爐體加熱，能夠快速升溫，恒溫，降溫?！包S金”爐體主體由石英管、電阻絲及剛玉組成，潔凈度高，適合于IC、電子器件的快速退火、液相外延等工藝。系統(tǒng)配有真空系統(tǒng)，極限真空度1Pa。本底真空時(shí)間視工藝管路?？膳渲肏2、N2、O2等工藝氣體，帶有自動(dòng)連鎖, 危險(xiǎn)氣體檢測及尾氣燃燒裝置。