性能特點 · 特殊合金架構的三坐標測量機，為掃描應用提供的剛性 · 90mmx90mm超大橫截面的Z軸具有最強剛性 · 極高的熱傳導率可以快速響應環(huán)境溫度的變化 · 橫梁采用有限元分析設計，擠壓成型，其轉(zhuǎn)動慣量可以在機器高速運行時減少變形 · 帶燕尾槽導軌的整體式花崗巖工作臺提高了測量機運行的重復性和精度 · 網(wǎng)格狀分布的M8螺紋孔 · 全氣浮軸承結(jié)構，提供了更好的剛性 · Z軸采用氣缸式平衡機構 · 0.1微米分辨率的光柵尺和編碼器，它是集成的動態(tài)信號處理系統(tǒng) · 全數(shù)字化運動控制，將測頭運動路徑也納入控制范圍以優(yōu)化測量機動態(tài)性能 · 各軸均采用零滯后摩擦轉(zhuǎn)動 · 被動減震系統(tǒng)，隔絕環(huán)境振動 · 開放式結(jié)構，可從各個方向裝載工件 · 定位速度866mm/s · 加速度1500mm/s2

技術參數(shù)：
X軸：700/1000[mm] Y軸：650[mm] Z軸：500[mm] 測量精度 ISO MPEE=3,0+3,5 L/1000[μm] 三維速度 517[mm/s]