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氣體純化器是什么?氣體純化器有什么作用?

2020-08-19 09:20:56

氣體純化器是氣體液化過(guò)程中的一個(gè)重要設(shè)備。氣體在制冷循環(huán)中逐步被冷卻降溫,在達(dá)到冷凝溫度以前,氣體中的雜質(zhì)氣體將凝結(jié)成固體而附著在管道及閥門(mén)等處,甚至進(jìn)入膨脹機(jī),使得液化器停止工作,所以在液化過(guò)程中安裝純化器,按雜質(zhì)的類(lèi)型采取化學(xué)方法或冷凍方法或物理吸附方法去除雜質(zhì),達(dá)到氣體純化的目的。氣體純化器采用非蒸散型鋯鋁合金16吸氣劑為凈化劑,該吸氣劑主要吸氣相為Zr5AL4、Zr5AL3、Zr3AL2、Zr2AL等多種金屬間化合物,活性高,擴(kuò)散活化能低,當(dāng)表面吸附著氣體時(shí),在一定溫度下容易向體內(nèi)擴(kuò)散,具有吸氣速率高、吸氣容量大的特點(diǎn)。激活后在較佳吸氣溫度范圍內(nèi)能有效的吸收O2、N2、CO2、CO、H2、CH4和水汽等,鋯鋁合。

氣體純化器定義為從分子水平將氣體中的雜質(zhì)去除的一種產(chǎn)品。大連華邦的大流量超純氮?dú)饧兓鳎髁?0~20000Nm3/h;氣體通過(guò)吸附工序,深度脫除氣體中的O2、H2O、CO2、CO、H2、NMHC雜質(zhì),吸附柱吸附飽和后可加熱再生、反復(fù)使用。多柱交替吸附、再生、可實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體的連續(xù)純化。感興趣的話(huà)可多了解一下。

氣體純化器主要應(yīng)用于①半導(dǎo)體、LED/激光、太陽(yáng)能光伏行業(yè):器件制備工藝中外延、擴(kuò)散、MOCVD、離子注入、等離子干刻、光刻、退火、搭接、燒結(jié)等工序設(shè)備所需的N2、H2、Ar、NH3等氣體進(jìn)行純化②光纖行業(yè):對(duì)保護(hù)氮、氦氣進(jìn)行終端純化③氣體行業(yè):對(duì)氣源氣體進(jìn)行純化④冷軋行業(yè):對(duì)保護(hù)氮?dú)膺M(jìn)行純化⑤化工行業(yè):對(duì)氮、氫、氣/液相烴類(lèi)脫O2、H2O純化。