東莞市啟天自動化設(shè)備股份有限公司
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認(rèn)證資料 Certification Data
東莞市啟天自動化設(shè)備股份有限公司
- 聯(lián)系人：晁曉鵬
- 官網(wǎng)地址：www.cnqtkj.com
- 經(jīng)營模式：制造商
- 主營產(chǎn)品：石墨舟上下料機(jī),等離子清洗機(jī)60L,八道刻蝕下料機(jī),五道刻蝕下料機(jī),硅片數(shù)片機(jī)
- 所在地：廣東省廣東省東莞市樟木頭鎮(zhèn)樟洋工業(yè)區(qū)富竹二街8號
- 供應(yīng)產(chǎn)品：67
產(chǎn)品詳情
Product details
等離子清洗工藝流程圖
產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格介紹
QT-60-PSP中型等離子清洗機(jī)規(guī)格
主要技術(shù)參數(shù)：
1) 整機(jī)外形尺寸（約）: 900W×1700H×1000D（mm） 外觀噴塑處理；
2) 反應(yīng)倉尺寸： W450mm×H300mm×D450mm；
3) 電源：主系統(tǒng)電源: 380×(1±10%)V(AC) 50Hz～60Hz 三相五線
4) 等離子體頻率：13.56MHz；
5) 射頻電源功率：（0～600）W連續(xù)可調(diào)；
6) 設(shè)備功率：≤3kW
7) 控制方式：采用包括觸摸屏人機(jī)界面的PLC控制，操作方式包括自動模式和手動模式。在自動模式下將不同工藝參數(shù)按照配方方式管理，可同時存儲100組不同的配方。使用時只需要將相應(yīng)配方號調(diào)出即可。設(shè)備參數(shù)分級管理，設(shè)備操作員、工藝人員、維護(hù)人員使用不同口令管理不同參數(shù)，提高設(shè)備安全性。手動模式用于實驗工藝以及設(shè)備維護(hù)維修。
8) MFC質(zhì)量流量計控制（標(biāo)準(zhǔn)配置2路）
9) 氣體流量：(0～200)ml/min （標(biāo)準(zhǔn)氣壓,0℃）
10) 工作氣體(氧、氬等)接口壓力：≤0.45MPa
11) 壓縮空氣（啟動氣動角閥）接口壓力：0.45Mpa
12) 凈化冷卻氣體（氮氣）接口壓力：0.45MPa
13) 設(shè)備工作節(jié)
聯(lián)系方式
Contact Us- 聯(lián)系人姓名：晁曉鵬
- 聯(lián)系人職位：銷售經(jīng)理
- 聯(lián)系人手機(jī)：13790668580
- 企業(yè)電話：86-0769-86059333
- 詳細(xì)地址：廣東省廣東省東莞市樟木頭鎮(zhèn)樟洋工業(yè)區(qū)富竹二街8號